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产品详情
Product details
碳化硅悬臂桨，也称为碳化硅棒反应烧结碳化硅悬臂浆料，是半导体晶片装载系统的关键部件。悬臂浆料性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆加载力大，适用于机器人自动加载和搬运系统;
碳化硅悬臂桨的设计特点：
1、在高温环境下不变形，晶片装载力大;
2、耐极冷急热，使用寿命长;
3、悬臂浆热膨胀系数极小，极大地延长了维护清洗的周期;
4、碳化硅悬臂桨大幅减少污染物;
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