碳化硅桨应用于在太阳能行业或电子行业中,在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。

碳化硅桨和反应烧结碳化硅及其各类制品的企业,产品已经通过ISO9001体系的认证,生产所需原料全部进口,生产工艺全部采用德国FCT公司先进的工艺技术软件。
反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨
产品概要: 悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。KCE?系列反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨性能稳定,在高温环境不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统,且其截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。加之与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,可极大地延长维护清洗周期,并大幅减少污染物。
反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨
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