苏州半导体硅片晶圆表面处理环保型溶剂除杂质全自动机械臂超声波清洗机非标定做

设备特点：

1.        采用两套独立的电脑控制机械臂自动化作业；

2.        各槽配置独立抛动系统，增加硅片和溶剂的摩擦。

3.        各槽配置鼓泡管路，均采用PFA材质管件制作。

4.        酸槽配置冷却盘管，降低酸溶剂蒸发量；设置脊型缸盖，杜 酸蒸汽释放到空气中，缸盖上设有喷淋系统。

5.        设备槽体均采用PVDF 6mm板材制作，耐酸碱性强。

6.        采用第三代 ，全面完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落。

7.        新全自动补液技术，做到集中供酸和排放。配置接水盘，防止槽体漏液污染车间环境。

8.        独特的硅片干燥前处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕。

9.        成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身。

10.    彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换

11.    售后服务：保修期一年，提供终身维护。