产品特性 : |
离子注入 |
加工定制 : |
是 |
品牌 : |
ULVAC爱发科 |
型号 : |
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30 |
用途 : |
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30 |
订货号 : |
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30 |
货号 : |
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30 |
别名 : |
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30 |
规格 : |
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30 |
是否跨境货源 : |
否 |
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
低加速、高浓度对应的离子注入设备。
产品特性 / Product characteristics
• 枚叶式
• 可对应薄片
• 非质量分离机的对比优点
1)对应低加速.高浓度的好产能离子注入设备
2)相比过去约一半的低价
3)相比过往设备占用面积为1/3的紧凑型设计
产品应用 / Product application
• Power Device等薄片基板工艺、IGBT工艺
产品参数 / Product parameters
• 基板尺寸:Max200mm
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