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可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30

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产品特性 :
离子注入
加工定制 :
品牌 :
ULVAC爱发科
型号 :
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
用途 :
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
订货号 :
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货号 :
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
别名 :
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
规格 :
可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30
是否跨境货源 :
产品详情
Product details

可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30

低加速、高浓度对应的离子注入设备。


 

产品特性 / Product characteristics

枚叶式

可对应薄片

非质量分离机的对比优点

         1)对应低加速.高浓度的好产能离子注入设备

         2)相比过去约一半的低价

         3)相比过往设备占用面积为1/3的紧凑型设计

产品应用 / Product application

Power Device等薄片基板工艺、IGBT工艺

产品参数 / Product parameters

 • 基板尺寸:Max200mm


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