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产品特性 : |
卧式热反应 |
加工定制 : |
是 |
品牌 : |
centrotherm 德国 |
型号 : |
卧式热反应系统 |
用途 : |
卧式热反应系统 |
订货号 : |
卧式热反应系统 |
货号 : |
卧式热反应系统 |
别名 : |
卧式热反应系统 |
规格 : |
卧式热反应系统 |
是否跨境货源 : |
否 |
E1550-初步小规模生产的卧式炉
centrotherm E1550 化系统，支持多种工艺能力，适用于中等生产能力和高工艺性能用户，是一款安全、可靠、易于维护的卧式扩散炉平台。该炉可高达4层石英管或SiC工艺管， 其硅片尺寸可达300毫米的。凭借其低维护和运行成本、及占地面积小等优势， E1550 可以生产出 成本效益的产品。
特点：
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计，便于在洁净室安装调试
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