美国ZYGO干涉仪 4寸干涉仪

美国ZGYO干涉仪

指标

1.测量技术：快速机械相移模式QPSI

           经典机械相移干涉模式PSI

2.激光光源：大功率稳频氦一氖激光，Ⅲa级

3.波长：633 nm

4.频率稳定度：<0.0001 nm

5.相干长度：>100 m

6.5.3M像素相机           1.4M像素相机（可选）

  分辨率：2304*2304      分辨力：1200*1200/600*600

  帧速：210Hz            帧速：50Hz/82Hz

  数位：8位              数位：10位

  快门时间：200us-10ms   快门时间>12us

7.数据采集时间：      130-300ms

8.放大：              1—50×数字式（选1.2KCCD时可选

                      配1×，1.7×，3×分立方放大）

9.偏振：              接近圆偏振（1.2:1或者更好）

10.光瞳调焦范围：     4英寸：±2.5m；6英寸：±5.5m

11.RMS重复性         <0.06nm，/10.00（2q）

12.RMS波前重复性     <0.35nm,/1800（mean+2q）

   像素峰值偏差       <0.5nm,/1200（99.5th%）