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Nidek 晶片平坦度/翘曲度测量仪FT-17 Nidek高精密平面度检测仪

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新旧程度 :
9成新
型号 :
FT-17
设备所在地 :
东莞
设备生产产地 :
日本
产品数量 :
10
产品详情
Product details

Nidek 晶片平坦度/翘曲度测量仪FT-17和FT-900(Si/Ge/GaAs/InP/SiC/LT/LN)

 

Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。

其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。

在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。

 

此外,它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。

 


FT-17 Series

FT-900 Series

无解析

无显示

带解析

带解析

(V2规格)

无解析

无显示

带解析

带解析

(V2规格)

测定方法

光波干涉方式(斜入射)

光源

半导体激光(655nm、3mW)

He-Ne激光(632.3A、5mW)

样本尺寸

直径130mm以下

(平坦度测定100mm以下)

直径200mm以下

样本厚度

2000um以下(根据测量承载台不同,最大可达10mm),其他厚度需客户另行协商

样本种类

Wafer(Si、化合物、酸化物、玻璃)、金属片、硬盘(铝、玻璃)等镜面和非镜面(反射率低的非镜面不可测试)

样本倾斜角度

垂直方向倾斜8度

垂直或垂直方向倾斜8度

干涉计设定敏感度

1、2、3、4、5u/纹理(下底面基准时只有1、2um/纹理,且厚度1mm以上时1um/纹理)

测定范围

纹理敏感度30倍(根据纹理状况以及测试镜头倍率关系,有时不能达到30倍)

摄影镜头倍率

3倍以上

显示分解能


0.01um


0.01um

重复精度

Repeatability:1б


0.02S+0.02M(um)

条件:样本设定后连续测试

S:纹理敏感度

M:测定值


0.02S+0.02M(um)

条件:样本设定后连续测试

S:纹理敏感度

M:测定值

 

 

Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。

其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。

在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。

 

该产品目前已在国内大手厂商中广泛采用,特别是在外延片的品质检测方面。颇受好评。

据不完全统计,至2012年底该产品已被国内LED衬底和外延片80多家厂家所使用。

 

平坦度测试仪销售业绩

全球超过1500台

中国超过30台

 

测试项目

吸附:GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID

非吸附:BOW、SORI、整体应力、局部应力

 

可测试晶片种类

切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片

可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等

 

 
晶片平坦度测量项目

QQ图片20180711095736



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东莞市宏诚光学制品有限公司是一家富有开拓性、创造性和创新精神的专业光学制造企业:主要从事光学相关产品(部件及仪器)的研发和制造。包含6个事业部:切割事业一部;研磨抛光事业二部;镀膜事业三部;光刻复制事业四部;二手机器仪器事业五部;国外仪器代理事业六部。宏诚光学始终坚持以“追求品质,诚信务实”作为公司经营理念。公司以优质的质量和服务赢得广大客户的青睐,产品现已遍布全球。 公司相继取得中国计量院、华南计量院、长春光机所(中科院长春光学精密机械与物理研究所)等多家企事业单位的合作,公司将立足光学行业和测量行业,始终信守“质量第一,客户至上,以诚为本”的宗旨,最终走上“生产系列化、产品名牌化、企业集团化、贸易国际化”的道路。

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公司名称东莞市宏诚光学制品有限公司
公司类型有限责任公司(自然人投资或控股)
经营模式生产厂家
成立日期2010-05-07
经营地址广东省东莞市茶山镇增埗村麒麟城工业区新益大厦
主营行业研磨机,电动抛光机,二手仪器仪表,其他二手设备,磨床,玻璃加工,陶瓷加工
主营产品光学玻璃,光学玻璃线纹尺,玻璃标定板,陶瓷标定板,金属标定板,国家二等玻璃线纹尺,标准玻璃线纹尺,CCD筛选机玻璃
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