产品特性 : |
融合键合 |
加工定制 : |
是 |
品牌 : |
EVG 融合键合 |
型号 : |
EVG 融合键合 |
用途 : |
EVG 融合键合 |
订货号 : |
EVG 融合键合 |
货号 : |
EVG 融合键合 |
别名 : |
EVG 融合键合 |
规格 : |
EVG 融合键合 |
是否跨境货源 : |
否 |
Fusion and Hybrid Bonding Systems
融合和混合键合系统
融合或直接晶圆键合可通过每个晶圆表面上的介电层 连接,该介电层用于工程衬底或层转移应用,例如背面照明的CMOS图像传感器。
混合键合扩展了与键合界面中嵌入的金属焊盘的熔融键合,从而允许晶片面对面连接。 混合绑定的主要应用是高级3D设备堆叠。
EVG®301 单晶圆清洗系统
研发型单晶圆清洗系统。
EVG®320 自动化单晶圆清洗系统
自动化的单晶片清洗系统,可有效去除颗粒。
EVG®810LT 低温™等离子体激活系统
适用于SOI,MEMS,化合物半导体和先进基板键合的低温等离子体活化系统。
EVG®850LT SOI和直接晶圆键合的自动化生产键合系统
自动化生产粘合系统,适用于各种融合/分子薄片粘合应用。
EVG®850 SOI和直接晶圆键合的自动化生产键合系统
自动化生产粘合系统,适用于各种融合/分子薄片粘合应用。
GEMINI®FB 自动化生产晶圆键合系统
为精细对准和熔融粘合的集成平台。
BONDSCALE™ 自动化生产熔合系统
启用3D集成可持续更多收益。
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