加工定制 : |
是 |
品牌 : |
顶立科技 |
类型 : |
沉积炉 |
型号 : |
HCVD系列 |
别名 : |
化学气相沉积炉 |
适用范围 : |
炭炭刹车盘、陶瓷基复合材料 |
炉膛 高温度 : |
1500 |
工作温度 : |
1500 |
工作室尺寸 : |
600*600*900 |
加热方式 : |
电阻/感应 |
极限真空度 : |
1-100Pa |
电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
采用智能压力调控,压力波动小;
全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;
多级 尾气处理系统,环境友好,易清理;
可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;
可用于高温热解炭沉积, 高温度可达2200℃;
适用于工艺气氛:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。
结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗:石墨/CFC/金属
热电偶:K/N/C/S分度号
电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
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