帕克 NX20晶圆检测专用原子力显微镜

帕克 NX20晶圆检测专用原子力显微镜

缺陷分析的zui佳选择

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。

而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。帕克 NX20,这款全球精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

 强大全面的分析功能

帕克NX20具备独有的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，

并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针 针尖更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

即便是 -次接触原子显微镜的工程师也易于操作

帕克NX20拥有业界 为便捷的设计和自动界面，让您在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系 列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

创新工作的创新特征

为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

■缺陷检查成像和分析。

■高分辨率电子扫描模式。

■对样品和基片进行表面粗糙度测量

■样品侧壁三维结构测量

低噪声Z探测器可精确测量AFM表面形貌

■非接触模式,降低针尖磨损，减少换探针时间

■非接触模式下的快速缺陷成像

■业内 的三维结构测量的解耦XY扫描系统

■通过使用热匹配的组件，尽量减少系统漂移和迟滞现象

低噪声Z探测器可精确测量AFM表面形貌

■业界 的低噪声Z检测器测量样品表面形貌

■没有过沿过冲和压电蠕变误差的真正样品表面形貌

■即便是高速扫描也可以保持精确的表面高度

■行业 的前向和后向扫描间隙横向飘移小于0.15%

用真正的非接触扫描方式节省成本

■在一般用途和缺陷成像中,具有普通扫描模式10倍或更长的针尖使用寿命

■减少针尖的 针尖磨损

■ 真实的再现样品微观三维形貌,减少样品在扫描过程中的损坏或变形

帕克 NX20

凝聚着 具创新的AFM技术

1、100 μm x 100 μm扫描范围的XY平板扫描器

XY平板扫描器,采用压电堆栈设计,减少传统扫描过程中XY的正交影响，具有高速的响应频率,实现精确的样品纳米级扫描。

2、高速Z轴扫描器,扫描范围达15 μm

高强度压电堆栈和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率大于9kHz(-般为0.5kHz) 且探针的Z轴扫描速率不低于48mm/秒。Z轴 大扫描范围可从标准的15 μm扩展至30 μm (长范围Z扫描头)。

3、低噪声XYZ位置传 感器

低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

4、集成编码器的XY自动样品载台

编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精确地控制样品测量位置。

XY马达动工作时分辨率为1 μm,重复率为2 um。

Z马达运动的分辨率为0.1 μm,重复率为1 um。

5、自动多点样品扫描

借助驱动样品台,可编程步进扫描,多区域成像,

以下是它的工作流程:

1扫描成像

2抬起悬臂

3移动驱动平台到设定位置

4进针

5重新设定位置扫描成像

该自动化功能可大大减少扫描过程中人工的移动样品，从而缩短测试时间，提高生产率。

6、操作方便的样品台

独特的头部设计,可使用户从侧面操作样品和探针，根据所选择样品台的行程范围，用户在样品台.上可放置的 大样品直径200 mm。

7、用于拓展扫描模式易插拔扩展槽

您只需要将可选模块插入扩展槽,便可激活拓展扫描显微镜模式。

得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，

其产品线的配置兼容性大大提高。

8、同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统

定制物镜配有超长工作距离(50 mm, 0.21的数值孔径,1.0 μm的分辨率) ,带来 的镜头清晰度。同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面找寻找测试区域,物镜 小分辨率为0.7 μm。得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，但分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明,便于清晰观察样品。

9、扫描头滑动嵌入式设计

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置,无需调节激光位置，激光自动投射在针尖.上。借助于相优异的四象限检测器，显微镜可精确成像并可准确测定力.距离曲线。

10自动Z轴移动和聚焦系统

高度限行Z轴移动和聚焦系统,可以得到清晰的视野和图像,用户通过软件界面进行操作,由高精度步进电机驱动,即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。