快速扫描原子力显微镜 帕克NX10

精确又易用的原子力显微镜帕克NX10

更好的精度，更准的数据 

帕克 NX10为您带来 高纳米级分辨率的数据，值得您信赖。它是全球 一个真正非接触式原子力显微镜，在延长探针使用寿命的同时，还能良好地保护您的样品不受针尖损坏。独立的XY扫描器平板扫描器和Z扫描器可带来 的精确度和分辨率。

更好的精度，更高的效率 

随着我们创新性操作软件帕克 SmartScan™的投入使用, 帕克 NX10具备了比以往更快更简单的设置和 优化的数据采集。 在帕克 SmartScan™的智能模式下您只需点击三下鼠标即可快速得到高质量的纳米级分辨率图像，而手动模式更是为经验丰富的研究者的需要提供自定义的工作流程所需的全部功能。

更好的进度，更佳的研究 

在获得更好数据的同时又节省了宝贵的时间，您可以更加专注于创新领域研究工作。即便是 为特殊的应用，帕克 NX10凭借著众多的测量模式和可定制化设计满足您的所有需求。

NX10中的新技术

1. 扫描器 扫描范围为50μm x 50μm，可另配100μm*100μm扫描器。

XY轴扫描器有对称的二维高强度压电叠堆。它可为进行精确的纳米级样品扫描，提供基本的面外 正交运动和高响应能力。帕克 NX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。

2.高速Z轴扫描器，扫描范围达15μm

借助高强度压电叠堆和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。Z轴 大扫描范围可从标准的15μm扩展至30μm（可另选Z扫描头）。

3.低噪声XYZ位置传感器

行业先进的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

4.驱动XY轴样品台

XY轴样品台是驱动化的，以便于将样品导航并定位到扫描区域。这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um（使用微步）

5.自动步进扫描

借助驱动样品台，步进扫描可编程多区域成像，以下是它的工作流程：

1.扫描成像

2. 抬起悬臂

3. 移动驱动平台到设定位置

4.进针

5. 重复扫描 该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求，从而很大程度上提高生产力。

6. 帕克 NX10的独特头部设计可使用户从侧面操作样品和探针，用户在样品台上可放置的 大样品体积为50mm×50mm×20mm（长×宽×高）。

7. 高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽

只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提高。

8. 结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜

超长工作距离的定制物镜（工作距离50mm,数值孔径0.21，分辨率1.0μm）带来 的镜头清晰度。直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7μm的高分辨率。

9.滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD，显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。

10.垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台

驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。用户通过软件界面进行操控，由高精度步进电机带动，即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。

灵活性，伸缩性高，可满足各种需求 

NX系列有适合大众化的各种扫描模式，能满足您的所有研究需求。 

标准成像

真正的非接触模式AFM

接触模式AFM

侧向力显微镜（LFM)

相位成像

间歇式（轻敲式）AFM

电性能 导电AFM，I-V谱线，扫描开尔文探针显微镜（SKPM/KPM)，高电压SKPM，扫描电容显微镜（SCM)，扫描电阻显微镜（SSRM)，扫描隧道显微镜（STM)，扫描隧道光谱（STS)，时间分辨的光电流测绘（Tr-PCM)

Magnetic Properties磁性能 磁力显微镜（MFM)，可调外加磁场MFM

化学性能 功能化探针的化学力显微镜，电化学显微镜(EC-STM和EC-AFM)

热性能 描热感显微镜(SThM) 

光学性能 探针增强拉曼光谱(TERS)，时间分辨的光电流测绘（Tr-PCM) 

介电/压电性能 静电力显微镜（EFM)，动态接触式静电力显微镜（DC-EFM)，压电力显微镜（PFM)，高电压PFM

机械性能 力调制显微镜（FMM)，纳米压痕，纳米刻蚀，高电压纳米刻蚀，纳米操纵，压电力显微镜（PFM) 

力测量 力－距离（F-D)光谱，力－体积成像，热噪声法标定弹性系数

1.高样品 1.5μm台阶高度

扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

2.平样品 蓝宝石晶圆的原子台阶

0.3nm台阶高度，扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

3.硬样品 钨膜

扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

 张图，

扫描第15张图之后

4. 软样品 胶原原纤维

扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

形貌图，相图