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加工定制 : |
是 |
品牌 : |
顶立科技 |
类型 : |
沉积炉 |
型号 : |
HCVD-060609-C |
别名 : |
化学气相沉积炉（沉积炭） |
适用范围 : |
以碳 体为碳源的材料表面或基体的CVD |
炉膛 高温度 : |
1500 |
工作温度 : |
1500 |
工作室尺寸 : |
600×600×900 |
极限真空度 : |
1-100Pa |
压升率 : |
0.67Pa/h |
加热方式 : |
电阻 |
电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
采用智能压力调控，压力波动小；
全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级 尾气处理系统，环境友好，易清理；
可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；
可用于高温热解炭沉积， 高温度可达2200℃；
适用于工艺气氛：真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
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