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美国AE直流电源MDX 5KW10KW维修，修理找法兰克自动化服务中心

美国AE直流电源MDXII维修，修理找法兰克自动化服务中心

维修型号：
DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 DPG-10 
ACG Series:ACG-3 ACG-3B ACG-5 ACG-6 ACG-6B ACG-10 ACG-1OB 2100L-15P 5100L 600L 601P
OEM Series:OEM-6  OEM-6A OEM-6B OEM-12   OEM-12A OEM-12A-XL OEM-12B OEM-12-B3 OEM-25A
OEM-25-XL OEM-28B OEM-50 OEM-1250 OEM-2000 TEL-7000-RF
Spectrum Series: B-1513 B-3013 B-10013 B-10002 B-5002 B-11002 B-5513Z B-10513
Supepower Series:QL-3513 QL-6513 QL-10513 QL-13013
GENESIS(GHW,GMW,GEW,VHF)Series:GHW-12 GHW-25 GHW-50 GHW-80 GHW-2527 GHW-3040
GHW-58A GHW-85A GMW-25A GMW-25Z GEW-2527 GEW-3040
NOVA Series:NOVA-25 NOVA-25A NOVA-50A 
RACK Series: RACK-AM-300 OTHERS: DPGS-10 DPGD-10 LPG-6A LPG-12A PL1-HF PL2-HF PL3-HF
Quanta-10 HF-300 HF-650 HPG-2
oneBox Series: OB1-01 OB1-02 OB1-03 OB1-04 OB2 Series OB4 Series 000-1093-076(2MHZ,2.5KW)
000-1093-077(27.12MHZ,1.8KW) 000-1093-075(DUAL MATCH) 000-1134-076 000-1134-077 000-1134-077R

   专业射频电源研发和第三方维修供应商，是国内 早从事工业电源维修的企业。

服务范围：

从事大功率射频RF电源研发&第三方维修供应商，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

服务优势：

拥有一批专业技术人才，进口品牌射频电源资深工程技术支持，消化吸收国外先进技术基础上创新发展，锻炼培养十几名经验丰富的维修工程师。拥有自主开发的专业配套射频电源测试平台，高压电源测试负载，直流电源测试负载，专用测试仪器设备，以及丰富的图纸技术资料。

服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU。       

电源维修

专业维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、

射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等专业设备维修。

Thermo Chiller维修 

温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源

2、MKS ENI射频电源/直流电源

3、DAIHEN射频电源

4、KYOSAN射频电源/直流电源

5、COMDEL射频电源

6、ADTEC射频电源

7、SEREN射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

四、直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

    六、RPSC

    MKS 2L

     MKS 3L

     MKS 6L 

     MKS 8L

     MKS 15L

     MKS 22L 

    七、CHILLER温度控制泵浦

     SMC INR-341-16A

     SMC INR-498-011

     SMC INR-244-215

     SMC-INR-244-117A

深圳市法兰克自动化设备有限公司

电话： 89632171

手机：（支工）

传真：

网站：www..com

地址：深圳市龙岗区平湖华南城P17栋1-2层

全国可接受维修服务,广东,广州,深圳,珠海,佛山，江门,惠州，汕头，揭阳，河源，东莞，湛江，天津,福建,福州,厦门,泉州,晋江,三明,龙岩,南平,福清,连江,漳州,山东,河北,石家庄,秦皇岛，保定,唐山,河南,聊城,淄博,滨州,潍坊,东营,莱芜,济南,青岛,重庆,陕西,西安,宝鸡,安康,铜川,汉中,渭南,咸阳,汉中,兴平,江西,南昌,吉安,三原,上海,浦东,黄埔,静安,长宁,虹口,徐汇,普陀,松江,宝山,青浦,金山,奉贤,南汇,江苏,南京,江阴,苏州,昆山,太仓,吴江,通州,无锡,如东,启东,海安,扬州,江都,宝应,秦州,徐州,丰县,盐城,东台,张家港,连云港,浙江,杭州,绍兴,温州,湖州,嘉兴,金华,义务,永康,武义,安吉,台州,常州,安徽,合肥,安庆,马鞍山,来安,毫州,太和,黄山,宿州,桐城,四川,成都,重庆,都江堰,攀枝花,成都,广西,南宁,梧州,贺州,海南,昆阳,保山,丽江,贵州,贵阳,遵义,湖北,武汉,宜昌,荆州,随州,辽宁,沈阳,锦州,丹东,大连,辽阳,黑龙江,哈尔滨,吉林,长春,白城,内蒙古,齐齐哈尔,呼和浩特,宁夏,银川,青海等。

主要的系列有：MR-J、MR-H、MR-C系列；MR-J2系列；MR-J2S系列；MR-E系列；MR-J3系列；MR-ES系列。

放大器内置控置器

MR-H10AC(N)
MR-H20AC(N)
MR-H40AC(N)
MR-H60AC(N)
MR-H100AC(N)
MR-H200AC(N)
MR-H350AC(N)
MR-H500AC(N)
MR-H700AC(N)

选项（配件）

MR-HCBL5M
MR-HCBL10M
MR-HCBL20M
MR-HCBL30M
MR-HSCBL5M
MR-H350AC(N)_三菱伺服驱动器
MR-PRU02
MR-PRUCBL1M
MR-PRUCBL3M
MR-PRUCBL5M
MR-H-E02
MR-H-D01
MR-H350AC(N)_三菱伺服驱动器

MR-H3CBL1M
MR-RB31
MR-RB34
MR-RB51
MR-RB54
MR-HDP01
MR-DP60
用户程序存储容量：是衡量可存储用户应用程序多少的指标。通常以字或
K字为单位。16位二进制数为一个字，每1024个字为1K字。PLC以字为单位
存储指令和数据。一般的逻辑操作指令每条占1个字。定时/计数，移位指
令占2个字。数据操作指令占2~4个字。
每五节 PLC的分类
按结构分类：
1． 整体式：是把PLC各组成部分安装在一起或少数几块印刷电路板上，
并连同电源一起装在机壳内形成一个单一的整体，称之为主机或基本单元、
小型、超小型PLC采用这种结构。
模块式：是把PLC各基本组成做成独立的模块。中型、大型PLC采用这种方
式。
MR-DS60
MR-DSCBL25
MR-DSCBL3M-G
MR-HTBL05M
MR-HTBL1M
MR-TB50
MRZJW3-MOTSZ41
MRZJW3-SETUP41
MRZJW3-SETUP51
MR-PWCNS3

伺服电机

HA-FH053
HA-FH13
HA-FH23
HA-FH33
HA-FH43
HA-FH63

HA-SH52  aa
HA-SH102
HA-SH152
HA-SH202
HA-SH352
HA-SH502
HA-SH702

HC-SF502
HC-SF702