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ALICAT防爆型气体质量流量计/控制器
差压原理,具有防爆认证
量程范围:从0-0.5SCCM到0-4000SLPM
压力范围:1MPa
响应时间:流量计10ms/控制器100ms
精度:±(0.8%读数+0.2%满量程)
可选±(0.4%读数+0.2%满量程)
认证:ATEX、CSA,Class 1Division 2
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