无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,QS无尘室工程,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的 影响,QS无尘室工程,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 每立方米将大于0,QS无尘室工程.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
无尘室在设计施工过程中需要注意的问题。 1、工程设计不合理 这种现象比较少见,主要是在一些小型的净化级别要求不太高的净化车间工程上。现在净化的竞争比较激烈,一些施工单位为了得到工程,在投标中给出了较低的报价。 在后期施工中,利用一些单位不太懂行的情况,偷工减料,使用功率较低的空调通风压缩机组,使送风功率与净化面积不匹配,导致洁净度不合格。 2、还有另外一个原因,是使用单位在设计施工开始后,又增加了新的要求和净化车间的净化面积,这也会使原先的设计不能达到要求。 无尘室设计对结构气密性的要求 (1)对洁净度要求不同的无尘室工程在设计时通常是级别高的车间和相邻级别低的车间要承载启动设备所产生的短时压差,要保持正的静压差,所以必须按照严格的技术方法谨慎操作。 (2)为了使无尘室功能发挥作用无尘室整体的气密性要求非常重要,门窗的气密性应良好;无尘室的顶棚、墙壁、施工缝隙及楼地面的构造都要稳妥的加以密封;通常要将聚苯乙烯泡沫板嵌填到位于车间洁净区和非洁净区之间的伸缩缝中;室内采用彩色压型钢板,并用膨胀螺钉锁住;室外采用不锈钢盖板,并在其边缘全部以密封胶密封。
无尘室构成 无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室: ⑴天花板系统 包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。 ⑵空调系统 包括空气舱、过滤器系统、风车等。 ⑶隔墙板(Partitional wall) 包括窗户、门。 ⑷地板 包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。 ⑸照明器具 包括日光灯、黄色灯管等。 ⑹无尘室之建筑主体构造 一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件: A.不会因温度变化与振动而发生裂痕; B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子; C.吸湿性小; D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
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