型号 : |
JA-1000 |
品牌 : |
奥超 |
加工定制 : |
是 |
类型 : |
全自动 |
适用领域 : |
工业领域 |
用途 : |
工业用 |
槽数 : |
1 |
超声清洗频率 : |
25 |
清洗温度 : |
40 |
工作方式 : |
全自动 |
外形尺寸 : |
定制 |
功率 : |
4000W |
硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合
1、炉前清洗:扩散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻胶。
3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。
5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。
7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。
8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。
9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物
- 济宁奥超电子设备有限公司
- 刘建国 销售部
- 13963759150
- 山东省济宁市 济宁市高新区诗仙路99号
为您精选
- JA-3000超声波发动机清洗机 发动机缸体清洗机 奥超型号齐全
- 超声波振板济宁万和超声为您量身制作,超声波振盒,超声波振动板,投入式超声波清洗机
- 餐饮用超声波洗碗机,餐具清洗机,奶瓶清洗机,玻璃瓶清洗机,奶杯清洗机,洗碗机,玻璃瓶超声波清洗机一应俱全
- 选钢筘清洗机认准WHGK-190钢筘超声波清洗机|超声波钢筘清洗机|钢筘清洗设备|钢筘清洗|济宁万和超声是您理想的选择
- WHQC-6000汽车零件超声波清洗机专业为汽车行业制造,汽车零部件清洗机,发动机清洗机,缸体清洗机,汽车零件清洗机
- 万和WHWD-3000隧道烘箱网带超声波清洗机可在线清洗,在生产线上直接使用
- 万和消防面罩超声波清洗机 消防面罩超声波清洗设备生产厂家
- 管材超声波清洗机WHGC-5000|万和超声波清洗机价格|钢管清洗机|钢管超声波清洗机|管件超声波清洗机
- 供应超声波除锈清洗机WHCX-2800,除锈超声波清洗机,电镀件超声波清洗机,清洗设备,超声清洗
- 液压件超声波清洗机全方位清洗,洁净度高,请认准万和牌,超声波液压件清洗机,液压件清洗机,清洗机,液压件清洗设备,清洗器
- 万和除锈超声波清洗机 去除油污浮锈很快 效果不错
- 万和喷丝板超声波清洗机WHPSB-2000客户用了都称赞,保您满意,可按您的要求生产