加工定制 : |
是 |
种类 : |
耐火材料 |
适用对象 : |
陶瓷 |
炉窑形状 : |
方形窑 |
燃料种类 : |
煤气窑 |
物料输送方式 : |
窑车窑 |
品牌 : |
百德 |
工艺类型 : |
挤出/注浆 |
型号 : |
5.5米以内 |
温度范围 : |
1380℃ |
悬臂桨系统结构比较简单,SiC桨携带舟和硅片进入石英炉管后,就停留在石英炉管内,直到工艺程序结束,SiC桨就携带舟和硅片慢慢回到原位
扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂,即将元素磷、硼扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。



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