氩气纯化器氩气纯化装置氩气纯化设备

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Product details

处理气量：（1-200）Nm3/h
压力：≤1.0Mpa
氩气纯度：≥99.999％
露点：≤-70℃

含氧量：≤1.5ppm

含氢量：≤0.5ppm

含氮量：≤4ppm

ΣCH≤1ppm

广泛应用于：

熔硅单晶炉配套使用，激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。

高纯氩气纯化设备

原料气可以是液氩，瓶装氩气等，针对原料氩气的成分不同，可定制多种净化方案。提纯过程有催化脱氧、冷却冷凝、吸附脱水、深度净化炉等工艺，保证客户的不同需求。

技术特点
采用净化炉脱除杂质气体，效果可达产品气纯度99.999%。

采用优质分子筛，产品氧气含湿量≤-70℃露点。
采用烧结过滤器，除尘后分子粒度≤0.1μm。
纯化工作气体压力范围0.2-5.0MPa，并能适用于压力波动气体。
原料气采用先进工作流程，温度控制安全可靠。
安装方便，结构紧凑，维修简单。

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此氩气纯化器氩气纯化装置氩气纯化设备产品由苏州穆尔气体设备有限公司在2022-04-11T17:17:17更新，主要更新内容为：产品起订价,产品起订量,产品类别,联系方式,产品参数信息。

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