产品等级 : |
分析纯 |
含量 : |
99.9999% |
执行质量标准 : |
GB/T7445-1995 |
原料 : |
99.8% |
纯化后纯度 : |
99.9999% |
压力 : |
0.1~6.0mpa |
流量 : |
1~10000M3/h |
RZ-QYC-A/6N型 纯化装置
6N系列 纯化器是半导体电子行业所研制的终端纯化装置：设备使用寿命长；元件全部进口洁净管道、阀门，洁净施工全面保证产品质量；控制系统采用西门子控制模块和系统，可实现全自动运行，并具有实时检测、错误诊断、报警和联锁等功能，全面保证设备的使用稳定性和安全性，可支持单台工艺设备或者整个芯片厂，满足电子企业各种要求。
RZ-QYC-6N系列 纯化设备工艺方案：原料 经由高活性金属吸气剂，在一定温度下将原料气中的微量O₂、H₂O、CO₂、CO、CH₄、N₂等杂质脱出至ppb级。吸气剂为消耗型填料， （可有限次激活）。吸气反应器设计使用寿命为2~3年，失效后整体更换。
技术参数：
1.原料气：99.9%~99.999%
2.工作压力：0.1~6.0MPA
3.处理气量：~1000Nm3/h
4.纯化后指标：99.9999%
其中杂质：氧含量：≤0.2ppm；氮含量：≤0.4ppm；一氧化碳含量：≤0.1ppm；
含量：0.1ppm； 含量：0.2ppm；水分含量：1.0ppm
5.切换周期：根据原料气设置（24~72h）
6.冷却水：10 Nm3/h以上需要
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