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渗氦型标准漏孔原理是基于菲克定律制作。漏孔是计量器具,漏率量值溯源到国家漏率标准,均具有经国家实验室认证的计量技术机构的校准证书。
一.漏率范围:E-7~E-10(Pa.m3/s)23℃
二.漏孔种类:
1.参考标准漏孔E-8;E-10(Pa.m3/s)23℃
(1)系数可根据用户需要确定
(2)年泄漏率可控制在<2%,其不确定度≤±0.2%,以保证漏率的长期可靠。
(3)有精确的温度修正:QT=Qcal296K*(T/296K)*e-2535.5(1/T-1/296)
(4) 用于:a.量值传递作为标准;b.真空漏率标准之间的互校的参考体;c.监视真空漏率标准是否处在 状态
2.微漏率漏孔:
<5E-9—E-11(Pa.m3/s)23℃
3.大漏率漏孔:
≈1.5E-7(Pa.m3/s)23℃
4.高清洁度型漏孔:
不产生杂峰(因橡胶密封产生的杂质谱峰),接口为刀口法兰。
5.某些数量级,任意系数漏孔(E-9,E-10,E-11)。
6.常规漏孔:1.5E-8(Pa.m3/s)23℃;5E-9(Pa.m3/s)23℃
三.说明:
1.常温下使用不可加热及制冷降温法改变漏率以防结构损坏。
2.为保证漏率长期稳定性,漏孔内采用玻璃结构,防震损。
3.真空密封面不可划伤,以防漏率失准。
4.漏孔使用中的温度修正误差允许<10%时按照3%/℃进行线性修正
5.接口:漏孔可接入任意形式接口的真空系统
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