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LW400LMDT芯片检查金相
大平台无穷远芯片检查 是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业。可进行偏光与明视场、暗视场观察转换。专门设计的大移动范围载物台,移动范围:8"×8"(204mm×204mm),满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值:0.7μm。三目镜筒,可进行100透光摄影。
LW400LMDT芯片检查金相
标准配置
技术规格 | ||
目镜 | 大视野 WF10X(视场数Φ22mm) | |
无限远长距平场消色差物镜 | LW400LJT | PL L5X/0.12 工作距离:26.1 mm |
PL L10X/0.25 工作距离:20.2 mm | ||
PL L20X/0.40 工作距离:8.80 mm | ||
PL L50X/0.70 工作距离:3.68 mm | ||
PL L80X/0.80 工作距离:1.25 mm | ||
LW400LMDT | PL L5X/0.12 BD 工作距离:9.70 mm | |
PL L10X/0.25 BD 工作距离:9.30 mm | ||
PL L20X/0.40 BD 工作距离:7.23mm | ||
PL L50X/0.70 BD 工作距离:2.50 mm | ||
PL L80X/0.80 BD 工作距离:1.25 mm | ||
目镜筒 | 三目镜30˚倾斜, 可100通光摄影 | |
落射照明系统 | LW400LJT | 6V30W卤素灯,亮度可调 |
LW400LMDT | 12V50W卤素灯,亮度可调 | |
内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置,推拉式检偏器与起偏器 | ||
调焦机构 | 粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:0.7μm | |
转换器 | 五孔(内向式滚珠内定位) | |
载物台 | 机械式载物台,外形尺寸:280mmX270mm,移动范围:横向(X)204mm,纵向(Y)204mm | |
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