碳化硅悬臂桨 半导体晶圆承载梁 山东尚美 质量保证 反应烧结化硅悬臂浆可定制
山东尚美是专业生产反应烧结碳化硅制品的生产厂家,其中产品就有碳化硅悬臂桨,主要是用于半导体行业,做承载晶圆的承载梁使用,山东尚美作为生产厂家生产的碳化硅悬臂桨,质量保证,并且可根据客户不同规格要求进行定制
反应烧结碳化硅悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,现在延长到3750mm;

应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。

碳化硅悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗的周期,并大幅减少污染物。
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