品牌 : |
岛津 |
型号 : |
ft-17 |
加工定制 : |
是 |
测量范围 : |
100 |
测量精度 : |
0.001 |
外形尺寸 : |
100*200*800 |
用途 : |
可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等 |
标准装箱数 : |
1 |
长度 : |
300 |
放大率 : |
100 |
工作温度 : |
20 |
十字线 : |
0.003 |
视野 : |
90 |
物镜直径 : |
30 |
序列号 : |
1 |
重量 : |
100 |


Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
此外,它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。
Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电
测试项脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
该产品目前已在国内大手厂商中广泛采用,特别是在外延片的品质检测方面。颇受好评。
据不完全统计,至2012年底该产品已被国内LED衬底和外延片80多家厂家所使用。
吸附:GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID
非吸附:BOW、SORI、整体应力、局部应力
可测试晶片种类
切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片
可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等
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