利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、 、 、甲硫氢、 、 、乙酸丁酯、乙酸乙酯、 、 和 、硫化物H2S、VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。UV氧化废气处理装置采用高能紫外线破坏、分解大分子链为小分子链，再利用臭氧和羟基自由基氧化、催化剂进行催化氧化，使有机物变为水和 ，以达到去除有机物的目的。
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