大平台金相 配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰，衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的，作为高级金相 使用。可进行明暗场观察、落射偏光、微分干涉DIC观察，广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。

特点说明

1.各操作机构根据人机工程学设计，大限度减轻操作者的使用疲劳. 模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。

2.采用6寸平台设计，带离合器 手柄，可用于全行程范围内快速移动。可适用于相应尺寸的晶圆或 FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。
3.全新设计的超长工作距物镜，采用半复消色差技术，并使用多层寛带镀膜技术，使整个视场内的成像清晰税利，色彩自然，明亮舒适超长的工作距离设计。5X、 10X、20X物镜的设计，通过精选材料及优化设计，使DIC微分干涉观察的性能非常出色
4.使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、 杂质点及其他细微缺陷。
5.在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的 高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。
6.5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色。

技术规格

1.型号：MX-6RT

2.观察方法：明场/暗场/偏振光/DIC/透射光

3.光学系统：无限远色差校正光学系统

4.目镜：PL10X/22平场高眼点目镜

5.物镜：LMPL-BD无限远长工作距明暗场金相物镜5X/10X/20X/50X/100X

6.观察筒：正像观察筒，25°铰链式三目，分光比，双目：三目= 100： 0或0:100

7.转换器：5孔内倾式明暗场转换器，带DIC插槽

8.载物台：6"三层机械移动平台，反射行程158x158mm, 透射行程：100x100mm,玻璃工作台，右手位 X、Y移动手轮，带离合器手柄，可快速移动

9. 镜体：粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm, 带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V 宽电压变压器，双路电源输出

10.反射照明器系统：带可变视场光，均可调中心；带滤色片插与偏光装 置插；带明暗场切换机构，预置中心，光强连续可调

11.透射照明系统：单颗大功率5WLED,白色，光强连续可调。N..A.0.5聚光镜，带可变孔径光阑

12.摄像接口：0.5X CCD适配器

13.成像设备：600万像素显微相机，显微图像软件

14.计算机：品牌台式电脑套装