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品牌 : |
Caikon/蔡康光学 |
型号 : |
DMM-600C |
类型 : |
金相显微镜 |
目镜放大倍数 : |
10X |
物镜放大倍数 : |
80x |
仪器放大倍数 : |
800x |
重量 : |
13kg |
适用范围 : |
硅片检测、芯片检测、晶圆检测 |
装箱数 : |
1 |
加工定制 : |
是 |
一、晶圆检测显微镜仪器的主要用途和特点
DMM-600系列研究型晶圆检测显微镜（大平台晶圆检测显微镜）配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，是金属学、矿物学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。适用于学校、科研、工厂等部门使用。
DMM-600C研究型晶圆检测显微镜（大平台晶圆检测显微镜）是将精锐的光学显微镜技术、先进的光电转换技术、 的计算机成像技术 地结合在一起而开发研制成功的一项高科技产品。既可人工观察金相图像,又可以在计算机上很方便地适时观察金相图像，并以随时捕捉下来,从而对金相图谱进行分析,评级等,还可以保存或打印出高像素金相照片。
二、晶圆检测显微镜显微镜的技术参数:
| 金相显微镜组件及规格 | |||
| 目镜 | 大视野 | WF10X(Φ18mm) | |
| WF20X(Φ8.5mm) | |||
| 平场分划 | 10X(0.10mm/格值) | ||
| 物镜 | 平场消色差 （无盖玻片） |
放大倍数/数值孔径 | 工作距离 |
| PL5X/0.12 | 18.3 | ||
| PLL10X/0.25 | 8.9 | ||
| PLL20X/0.40 | 8.7 | ||
| PLL40X/0.60（弹簧） | 3.7 | ||
| PL50X/0.70（弹簧） | 2.02 | ||
| PL80X/0.80（弹簧） | 0.96 | ||
| 目镜筒 | 三目镜 | 转轴式，倾斜30度，包括检偏振片 | |
| 仪器主体 | 粗调、微调手轮，微调格值为0.002MM（底座及支架） | ||
| 偏光装置 | 可插入式起偏振片,垂直照明装置,能进行一般金相分析、微粒分析测试，还能对不透明物体进行分析、观察。 | ||
| 载物台 | 尺寸：250 X 230mm有快速移动装置，移动范围：153 X 153mm | ||
| 调焦机构 | 同轴粗微动调焦机构, 调焦范围15mm 微动格值2μm | ||
| 照明系统 | 落射照明 6V 20W ，卤素灯，亮度可调带起偏振片落射照明 6V 20W ，卤素灯，亮度可调 | ||
| 滤片组 | 蓝、黄、绿、磨砂 | ||
| 转换器 | 滚珠内定位内弯,五孔转换 | ||
三、仪器的组成部分：
1、金相显微镜DMM-600 2、电脑适配镜
3、彩色数字摄像机CK-300 4、计算机（选购）
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