高纯钛溅射靶材钛颗粒9999Ti纯度99999

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纯钛一般是指纯度（质量分数）大于99的钛材料，其中高纯钛纯度可以达到4N级（99.99），甚至更高。作为钛系列产品中的一员，高纯钛除具有密度低、熔点高、抗腐蚀性强等性质外，还具有强度低、塑性好（延伸率可达50-60，断面收缩率可达70-80）等特点，近年来，随着航空航天、电子信息等高科技产业的快速发展、高纯钛的用量也越来越多，采用合适的方法制造高品质、低成本的高纯钛，关系到这些行业的发展。

高纯钛的应用

相比一般的工业纯钛，高纯钛价格昂贵，应用范围较窄，主要用来满足一些特殊行业的使用。

钛是无磁性金属，在很强的磁场中也不会被磁化，且与人体有良好的相容性，无毒副作用，可以用来制造人体植入器件。一般医与用钛材并没有达到高纯钛的级别，但是考虑到钛中不纯物的溶出问题，植入件用钛的纯度尽可能高，高纯钛丝可用作生物捆扎材料，此外，内埋导管的钛制注入式针头也达到了高纯钛的级别。

近年来，随着半导体技术、信息技术等高科技领域的快速发展，高纯钛在溅射靶材、集成电路、DRAMS和平板显示器等方面的用量越来越大，对钛材的纯度要求越来愈高，在半导体超大规模集成电路行业，控制电极采用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为扩散阻挡层和配线材料，制造这些材料采用溅射法，而溅射法用的钛靶材对纯度要求很高，特别是对碱金属元素和放射性元素要求含量极低，近年来，其与之相配的溅射设备也开始使用与溅射钛靶材同等纯度的高纯钛，目前，对于4兆位的超大规模集成电路，要求钛的纯度达到4N5-5N，而16兆位的第三代超大规模集成电路则要求钛的纯度达到6N级。

钛在超高真空抽气系统中作为吸气剂而得到广泛的应用，如在升华泵、溅射离子泵，可使溅射离子泵的极限工作压强低至10-9Pa。

除了以上提到的几个应用领域外，高纯钛在特殊合金、功能材料领域也有应用，如制备钛镍形状记忆合金、和钛铝金属间化合物时要求钛的纯度在5N以上，而在海水净化、污水处理、制药等方面，高纯钛可以用来制造水净化装置的滤芯。