大口径激光干涉仪

      G300M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统：一路是100mm（4英寸）小口径测 量系统，另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到300mm（12英寸），标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。

      G300S大口径激光干涉仪单光路系统，适合光学车间平面元件的现场检验。 主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形、光学平行度和材料均匀性 的测试；准直系统波前质量的测试。球面类光学元件（包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光 圈量规、球面轴承等）表面光圈、局部形变的测量，球面曲率半径的测量（配合光栅尺）。平面类 光学元件（平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等）的表面光圈的测量。

     G450M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统：一路是100mm（4英寸）小口径测 量系统，另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到450mm（18英寸），标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。
      G450S大口径激光干涉仪单光路系统，适合光学车间平面元件的现场检验。 主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形、光学平行度和材料均匀性 的测试；准直系统波前质量的测试。球面类光学元件（包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光 圈量规、球面轴承等）表面光圈、局部形变的测量，球面曲率半径的测量（配合光栅尺）。平面类 光学元件（平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等）的表面光圈的测量。

仪器规格参数表