工件材质 : |
氧化因锡 |
电镀类型 : |
镀锡加工 |
打样周期 : |
4-7天 |
加工周期 : |
4-7天 |
年最大加工能力 : |
100000 |
年剩余加工能力 : |
50000 |
规格 : |
圆片、方形、板材、颗粒 |
品牌 : |
Zenkaan |
ITO靶材通过磁控溅射制备ITO薄膜,广泛应用于酞阳能、LCD、TP,TFT液晶市场等领域
烧结法是世界上主流的ITO靶材生产方式,
常压烧结是当前日本ITO靶材烧结的主流技术
采用烧结法生产ITO靶材的公司有许多 ,高端TFT-LCD用ITO靶材均来自日本的东曹、日立、住友、日本能源、三井,日矿金属,韩国三星康宁等公司
ITO靶一般主要性能及参数
成份: In2O3:SnO2=90/10(wt) 其他比例以客户要求为准
相对密度: 99.5(理论密度7.15g/cm3)
1)纯度:其纯度达到99.99以上,主要杂质元素Cu、Fe、Pb、Si、Ni分别小于10 ppm,
3)组织均匀性:SnO2固熔到In2O3中形成单一的In2O3相,
Sn在靶中均匀分布,晶粒细微均匀。
4)电阻率小于0.14mΩ·㎝。
5)抗折强度:
120MPa。

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