洁净室的八种排风系统介绍快讯

在微电子用洁净室、药品生产用洁净室中，常常在产品生产过程中使用或产生，各种酸性和碱性物质、有机溶剂和一 般气体、特种气体，就会员相应的有害物质排出或泄漏入洁净室内，可能排出各种有害物质、气体或粉尘。博泰小编带大家了解废气的类型可将排风装置大体划分为哪几种类型。

（1）一般排风系统:

这是指在生产辅助用室、生活用室，如值班室、卫生间等排出的一般废气，大多数情况下不需要进行特殊处理即可直接排入大气。

（2）有机气体排风系统:  

在产品生产中使用各类有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时，都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体，对这类场所或设备均应设置排风装置。在一般情况下，有机排风系统中的有机气体浓度是很低的，若能达到国家标准规定的大气排放标准时可直接排入大气，不需设置废气处理装置；有机气体处理装置应根据排风系统所含有机物质的品种、浓度情况选用相应的处理设备。

（3）酸性气体排风系统:

在产品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、实验室内均有酸性气体排出，在这类酸性气体的排风系统通常设置温式洗气吸收塔，处理后排入大气。 

（4）碱性气体排风系统

在排风系统气体中含有碱性物质或在排气中混入碱性化学试剂，与酸性气体排风系统类似，通常采用湿式洗气吸收塔处理后排入大气。需对含有碱性物质（或酸性物质）浓度较低的排气也应进行净化处理才能达到排放标准，为此可采用专用吸附剂对碱或酸性排气进行处理达标后才能排入大气。

（5）热气体排风系统：

对生产过程中的各种炉子、高温灭菌设备等均有热气排出，由于排气温度校高，有时可采用热回收等方式进行处理，若排气量较小或不便进行处理时，在采取必要的隔热措施后直接排入大气。

（7）特殊气体排气系统：

在半导体集成电路生产中常常需使用一些特殊气体，其中许多特殊气体均属于易燃易爆或有毒甚至毒或有腐蚀性的气体，对于这类排气系统首先应按特气的品种、性质划分排气系统，必须防止在排气系统中产生化学反应；其次应选用专用的废弃处理装置。

（8）药品生产中有害、有毒的排风系统：

在生产或分装青霉素等强致敏性药物、某些甾体药物以及高活性、二类危险度以上病原体操作区的排风口，应安装高效过滤器，使这些药物引起的污染危险降低至最低限度。并且此类排风系统的排入大气的排风口与其他药品生产用净化空调系统的新风进风口应相隔一定距离。