溅射靶材的特征和事项快讯

溅射靶材分类

溅射靶主要包含整个产业链节金属的精炼，生产目标，溅射和终端应用，其中，所述目标生产和溅射是纲在链节的溅射靶。

溅射靶材按化学成分可分为：

（1） 金属靶（纯金属靶材，铜，钽，钛，铝等）

（2） 合金靶材（镍铬合金、镍钴合金等）

（3）化合物材料（珪化物、珪化物、硫化物等）