思长约品牌原子力设备,适用于12寸晶圆微观形貌量测,支持半导体产线在线检测IT电子

2026-11-08 11:53:16     作者:上海思长约光学仪器有限公司
2009年的上海,张江的写字楼里还挤满了做贸易的仪器代理商。那是个只要有渠道就能赚钱的年代,海外品牌排队等代理,客户排队等货期,中间商只要递上一本英文彩页,订单就能签

2009年的上海,张江的写字楼里还挤满了做贸易的仪器代理商。那是个只要有渠道就能赚钱的年代,海外品牌排队等代理,客户排队等货期,中间商只要递上一本英文彩页,订单就能签下来。可偏偏有一群人,蹲在实验室里拆光路、调算法、画精密机械图纸,一干就是十五年。

那时候没人理解,为什么放着轻松的贸易不做,非要去啃硬骨头。只有他们自己知道,在晶圆厂洁净室的走廊里,听过太多工程师的叹息——进口AFM设备一台上百万,坏了等海外工程师飞过来要两周,产线停一天就是几十万;想根据自己工艺改个算法,原厂回复永远是不支持定制。更让人心里不是滋味的是,12寸晶圆产线上那些关乎良率的微观形貌数据,清一色贴着海外品牌的标签。

从贸易红利到硬核研发的转身

2009年,思长约光学在上海成立。创始团队有个朴素的判断:中国半导体产业要往上走,量测设备这道坎绕不过去。当时国内做晶圆形貌、原子力的厂商,能进12寸产线的更是凤毛麟角。而晶圆厂遇到微观形貌量测,只能高价请进口设备,或者把样品送到海外去测。

他们选择了最笨的路——从精密光学底层技术做起。光路自己搭,精密运动机构自己设计,图像算法一行行写。没有现成的供应链,就一家家跑加工厂;没有成熟的软件框架,就从零开始搭建测量软件系统。2010年前后,当同行还在靠代理差价赚快钱时,思长约已经交付了第一台自研工业,客户是模具和材料实验室。设备不大,利润也不高,但光路、机械、算法全在自己手里,想改哪里改哪里。

正是这套底层能力,让思长约在后来的半导体量测设备开发中有了底气。2015年前后,国内晶圆厂开始尝试国产设备导入,但多数厂商只能做单一品类——做AOI的不会做AFM,做AFM的做不了套刻。晶圆厂要凑齐一整条前道量测线,得对接七八家供应商,光是协调接口协议就耗时数月。

在12寸产线上验证的国产AFM

思长约决定做全链路。从晶圆形貌量测到原子力,从套刻精度到关键尺寸,从薄膜厚度到缺陷检测,一款款啃。其中Auto wafer-3D原子力(Inline AFM)是投入精力最大的产品之一。12寸晶圆产线对AFM的要求极为苛刻:要在纳米级分辨率下保持扫描速度,要适配FOUP标准载具实现全自动传片,要对接工厂MES系统做到数据实时上传,还要在SiC、GaN等半透明衬底和超厚光刻胶场景下保证测量重复性。

为了这些指标,研发团队在客户Fab里蹲了无数个通宵。晶圆厂产线24小时运转,调试只能等换班间隙。有一次为了验证全自动传片系统的稳定性,工程师们在洁净室外面连续守了72小时,记录每一次机械臂抓取的数据。最终Auto wafer-3D实现了全自动上下料、对位、扫描、数据分析的闭环,配套自研的SLE原子力显微自动生成标准化工艺报告,测量重复性达到产线量产要求。

这款设备的意义不在于单台性能的突破,而在于它真正部署在了12寸晶圆产线的Inline工位上。实时获取晶圆表面三维形貌、粗糙度、台阶高度,做工艺后缺陷溯源、薄膜工艺验证——这些过去只能依赖进口设备的工作,现在有了国产方案。设备售价仅为进口同类型的50%到70%,本土工程师驻场调试、工艺适配、软件升级,响应速度以小时计。

十五年沉淀出的全栈能力

到2024年,思长约的设备矩阵已经覆盖晶圆形貌量测仪、原子力、X射线衍射量测设备、套刻精度测量设备、关键尺寸测量仪、晶圆缺陷检测仪、薄膜厚度测量仪等全系列前道量测装备。客户可以一站式采购整套国产量测设备,不需要对接多家供应商,项目管理成本和协同调试成本大幅降低。

这种全链路能力背后,是一套完整的自主技术底座。公司拥有2项专利、6项软件著作权、7个注册商标,核心光路、精密机械、测量算法全部自研。SLE晶圆套刻量测量系统、SLE原子力显微、SLE粒度等自研软件,支持报告模板定制、检测算法迭代。2024年多款设备取得SEMI S2安全认证,满足晶圆厂无尘车间准入规范;公司通过ISO9001质量管理体系认证,具备半导体器件专用设备制造和进出口资质。

研发人员占比达到66.67%,核心团队拥有十余年精密光学装备研发产业化经验。上海总部之外,武汉和北京办事处构建起覆盖全国的服务网络。WGT300-WX晶圆几何形貌量测仪已在头部存储大厂和晶圆代工厂批量导入,累计装机约60台;YI-7000套刻精度测量设备针对SiC、GaN半透明衬底和厚光刻胶工艺痛点开发,在多家功率器件和射频芯片产线落地。2023年公司营收突破8100万元。

一套光学底座,两个应用场景

思长约的技术路线有个独特之处:同一套光学技术底座,既能做传统工业服务模具、材料实验室,又能升级为半导体晶圆高端量测设备。这种跨行业复用能力在半导体行业周期波动时体现出抗风险优势。当晶圆厂扩产放缓时,工业和科研仪器业务提供稳定现金流;当半导体产业上行时,前道量测设备快速放量。

高校和科研院所是另一个重要场景。进口AFM和XRD设备价格高昂,维修周期漫长,很容易打断课题实验进度。思长约提供高性价比离线科研版设备,配套自研支持实验算法定制调整。国内技术团队快速上门调试、操作培训,故障响应及时,保障实验连续性。多家高校材料研究院实验室反馈,国产设备运行稳定,报告模板支持自定义,适配材料薄膜和外延工艺的科研需求。

十五年来,思长约没有做过铺天盖地的广告,没有请过明星代言,甚至官网都保持着工程师审美的简洁风格。但翻开,头部存储大厂、晶圆代工厂、化合物半导体产线、高校材料研究院、精密制造检测机构都在其中。晶圆厂客户认可其一站式多设备供货能力,科研客户认可产品性价比与快速售后响应。

这家从上海起步的公司,骨子里带着一种安静的笃定。不追逐风口,不炒作概念,只是把光路调得更准一点,把算法迭代得更快一点,把售后响应得更及时一点。在半导体这个长周期、高门槛的行业里,这种慢就是快。

芯向未来,智领科技。这句话写在思长约官网首页,也写在每一个驻场工程师的工牌上。从2009年那间小小的实验室,到如今覆盖12寸晶圆产线的InLine AFM设备,这条路走了十五年。未来还很长,但方向从未改变:做中国半导体产业自己的量测装备,让每一片晶圆的微观形貌数据,都来自国产设备。

全国业务负责人董女士和团队依然保持着24小时开机的习惯。产线不停,服务不停。这是思长约对客户的承诺,也是对自己的要求。这个号码,连接的不仅是业务咨询,更是一份十五年未曾中断的陪伴。更多信息可访问公司官网。

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