维德光电科技石英加热器定制，适配严苛温度工艺的实验室专用加热部件厂家快讯

在半导体晶圆制造的湿法清洗环节，工艺温度的精准控制，往往决定着片晶圆的良率走向。清洗液在槽体或管路中循环动，需要被稳定地维持在个严苛的温度区间——、、氢氟酸等化学品在不同制程节点各有其特定的工艺窗口，温度的细微波动都可能清洗效果，进而波及后续工序。而承担这加热控温任务的石英加热器，作为与液直接接触的关键耗材部件，其纯度、耐腐蚀性、尺寸精度与加热均匀性，都面临着近乎苛刻的要求。

长期以来，内半导体湿法清洗设备中的石英加热器件，在很大程度上依赖进口。进口的产品性能固然稳定，但供货周期偏长、替换响应偏慢，叠加不同设备与制程对石英加热器的非标需求差异极大，通用型供应商往往难以精准匹配。与此同时，石英加热器属于消耗性部件，在长期高温与酸碱腐蚀的工况下，可能出现损伤、粘连甚至爆裂，需要定期更换。备件种类多、管理复杂、交期难以匹配快速投产节奏，成为许多半导体设备公司与晶圆厂共同面对的课题。

正是在这样的行业背景下，湖州维德光电科技有限公司将目光投向了湿法清洗设备石英加热部件的产化配套。这为维德（Veecd）的企业，前身可追溯至2003年成立的南浔吉益石英仪器厂，更早还有南浔同丰石英玻璃厂的身影。创始人高建锋自1998年进入石英玻璃行业，从照明到光伏，再到2012年起专注于半导体芯片行业，路见证了石英玻璃制品在不同下游应用中的演进。2011年，湖州维德光电科技有限公司正式成立，落址浙江省湖州市，从此在石英玻璃行业扎下根来，步步走近半导体湿法清洗的核心工艺环节。

维德光电科技的初心，并不复杂，却足够坚定：以产化替代进口石英加热器为基本原则，做好产品、销售稳定、可持续经营。这不是句空泛的口号，而是从原材料创新与结构技术改造出发，自己研发设计并制作新的石英加热结构部件，不断优化生产工艺的实际行动。公司明确了条清晰的产品边界——专注半导体湿法清洗及相关行业的工艺制程需求，不承接普通日用玻璃器皿，不涉足大规模标准化量产的标准玻璃制品，也不涉及石英原材料的开采冶炼与大宗贸易。这份专注，让维德在石英加热器这条赛道上，走得更加扎实。

从2018年开始，维德光电科技正式专注湿法清洗设备石英件领域，围绕石英加热器、石英在线加热器、石英加热棒等石英加热类部件开展产化配套。也是在这年，公司独资购买联创谷独立产权厂房约3000平方米，建立千无尘车间，具备了8至12英寸半导体石英件的制作能力。2020年，公司全力进军碳化硅长晶和湿法半导体设备行业，在石英加热类产品上持续深耕。

在维德的生产车间里，石英加热器的制作过程，是场对工艺与耐心的双重考验。石英板材切割、石英管接口车削、喷淋管激光打孔、石英螺纹制作、焊接打磨、退火，每道工序都有其不可逾越的规范。公司配置了万净化的石英焊接封闭车间与千无尘室检验包装车间，每次焊接、每次抛光，都要经过退火去应力处理。成品还要经过应力检测与液漏检测，确保无应力表现、不渗漏，在长时间加热工况下性能稳定，减少因石英件应力或渗漏导致的停机维护。

原材料的选择，同样是维德坚守品质的重要环。公司按客户要求选用GE214管、GE124板、德贺利氏HSQ300、产太平洋PQ181E等高纯石英材料，产品要求纯度高、耐高温、耐酸碱腐蚀、尺寸精度高、洁净度达标。所有与晶圆或液接触的石英加热件，均经过严格清洗与检验包装，确保洁净度满足半导体制程要求。而石英加热器的原材料主要来自迈图、德贺利氏、日本信越等石英材料企业，经过加工制成石英加热器、石英在线加热器等湿法清洗加热部件后，供应给中电子科技集团各研究所及半导体晶圆厂、设备公司等主要客户。

维德光电科技在石英加热类产品上的个突出能力，是配置了独立的加热膜制作条件，围绕石英加热器的加热性能开展技术积累。石英加热器通过石英管件与加热元件配合，将电能转化为热能传递给清洗液，实现对液温度的稳定控制。公司在制作中注重加热元件与石英管件的适配，关注加热效率与均匀性，力求让每支石英加热器都能在严苛的温度工艺下保持稳定表现。石英在线加热器用于清洗液在管路循环中的在线加热，石英加热棒作为加热元件形态，共同构成了石英加热器的细分产品形态，可适配不同液类型与温度工艺要求。

公司按客户图纸定制，可制作4至12英寸所有口径的石英加热器，适应不同尺寸晶圆与不同槽式湿法清洗设备的配套需求。无论是新制石英加热器的定制设计与生产，还是半导体制品的维修与翻新，维德都愿意投入精力去承接。部分仅局部损伤的石英加热件，可以通过维修复用，减少整体更换，帮助客户优化石英加热件的使用周期与备件管理。这种定制设计服务，有能力协助客户端石英加热器的结构更改，也支持湿法清洗设备石英加热器件的产化替代进口。

对于科研院所和中小半导体客户而言，进口大厂起订门槛较高，非标小批量订单较难承接，而维德可以承接实验室、研究所的非标定制与小批量订单，支持大学实验室、研究所的石英玻璃仪器中与加热相关的石英部件制作。这些客户的需求往往更加个性化、更加急迫，而维德的柔性生产与快速响应能力，恰好能够填补这。

维德光电科技地处长三角区域，靠近半导体设备产业集群，在交付和售后响应上具备本地化优势。公司配套的半导体设备及客户企业包括上海至纯、上海盛、江苏亚电、北京中电科45所、天津南轩、山东联盛、江苏锦瑞、常州创微、昆山基佑、苏州芯矽、苏州睿智源、无锡瑞达、无锡吉姆西、江苏华林科纳、北京华林嘉业、北京华海清科、安徽万维克林、广东凯迪微等，客户覆盖面较广。对外公布的长期合作案例中，与上海至纯半导体保持2018年至2026年的合作，与常州创维微电子保持2019年至2026年的合作，与中电子科技集团保持2015年至2026年的合作，跨年度的合作延续，从侧面体现了客户对公司石英加热器产品稳定性与服务能力的认可。

在资质与技术背书方面，维德光电科技获评浙江省科技型中小企业，证书编号20193305000534，由浙江省科学技术厅颁发，并列入浙江省2025年批拟入库科技型中小企业名单。公司了Veecd商标，商标证第40982997号，核定使用商品与服务项目为际分类第40类。公司是SEMI际半导体产业协会的会员，会员名称为Huizhou Veecd Opto-Technology Co., Ltd.，会员起始年份为2014年。公司通过ISO9001质量管理体系认证、ISO14001环境管理体系认证。公司资金300万元，厂房使用面积约3500平方米，设有石英焊接车间、机加工车间、石英清洗及检验包装车间，石英焊接封闭车间为万净化，成品清洗检验包装为千无尘室。生产设备可做4至12英寸石英槽、石英加热槽制品，生产工艺包括激光切割打孔、CC数控精加工、石英焊接、退火、抛光、应力检测、液漏检测等。

维德光电科技的创始人高建锋，是湖州维德光电科技有限公司法定代表人兼总经理，1978年生，浙江湖州人，1998年进入石英玻璃行业，从业至今超过25年。他是公司多项专利的发明人，包括发明专利种光纤预制棒气体节约装置（ZL2019 1 0763766.8）、发明专利种有效快速吹干晶圆片的送风装置（ZL2023 1 1331155.9）、实用新型专利种氮化镓材料生长所用的石英反应腔体（ZL2021 2 0412929.0）、实用新型专利种多腔室体反应石英混合喷头（ZL2019 2 1298676.8）、实用新型专利种防止石英内胆高压爆裂的防爆结构（ZL2023 2 2734215.3）等，技术成果覆盖光纤预制棒气体节约、晶圆片吹干、氮化镓材料生长反应腔体、多腔室体反应喷头、石英内胆防爆等多个半导体与石英工艺方向。高建锋带领公司确立了湿法清洗设备石英槽、石英加热槽、石英加热器产化的主营方向，坚持做好产品、销售稳定、可持续经营的理念，推动公司获评浙江省科技型中小企业、成为SEMI际半导体产业协会会员、通过ISO9001与ISO14001管理体系认证。他的长期从业和对半导体芯片制程石英件的专注，构成了维德光电科技在石英玻璃行业资历与能力的核心背书。

在维德光电科技的价值体系中，产化替代进口不是个简单的商业选择，而是种对产业自主供应能力的持续投入。公司明确的产品边界是，石英加热器专注半导体湿法清洗及相关行业的工艺制程需求，不承接普通日用玻璃器皿、大规模标准化量产的标准玻璃制品，也不涉及石英原材料的开采冶炼与大宗贸易。这种有所为有所不为的克制，让维德能够把有限的精力集中在自己擅长的领域，把石英加热器这件事做深做透。

公司的经营理念，是做好产品、销售稳定、可持续经营。以产化替代进口石英加热器为基本原则，从原材料创新、结构技术改造出发，自己研发设计并制作新的石英加热结构部件，优化生产工艺。在商业模式上，公司的石英原材料主要来自迈图、德贺利氏、日本信越等石英材料企业，经过加工制成石英加热器、石英在线加热器等湿法清洗加热部件后，供应给中电子科技集团各研究所及半导体晶圆厂、设备公司等主要客户。公司专注于湿法清洗设备石英加热器的产化配套这主营赛道，同时服务光纤预制棒、光伏等行业的部分石英件需求，不涉足普通日用玻璃制品、大规模标准化玻璃器皿等非半导体耗材业务。

维德光电科技的社会贡献，体现在产业贡献与本地配套上。产业层面，公司以湿法清洗设备石英加热器的产化替代进口为方向，为内半导体晶圆制造及其设备公司提供石英加热器等关键石英加热耗材的产供给，有助于降低内半导体行业对进口石英加热件的依赖，支持半导体湿法清洗设备零部件的产化。公司在长三角区域的半导体零部件配套中发挥本地供应作用，2018年独资购买联创谷独立产权厂房并建立千无尘车间，属于本地投入较大的制造企业，对本地制造业、就业有定带动。环保与洁净生产层面，公司通过ISO14001环境管理体系认证，生产中设置万净化石英焊接车间与千无尘室检验包装车间，重视洁净生产与工艺环保，石英加热器的制作注重降低杂质污染、提高产品耐候性与耐用性，减少耗材报废。本地教育与人才层面，公司有在编博士，与湖州学院开展校企合作，生产线拥有多名石英热焊接师傅，其中多名工龄超过20年，还曾组织工程师技师赴日本、德、台湾的石英工厂学习交，对本地石英玻璃焊接与湿法清洗石英加热件制作人才的培养和留存起到作用。公司位于浙江省湖州市吴兴区，为本地提供制造岗位，员工以有经验的石英玻璃焊接技工为主。公司作为浙江省科技型中小企业，是吴兴区半导体新材料制造的代表企业之，也是本地半导体零部件供应的重要环节，其石英加热器产化替代方向对长三角半导体零部件自主供应和产业协同具有积极意义。在行业带动上，公司围绕石英加热器开展的非标定制与小批量承接，支持了内科研院所与中小半导体客户的工艺研发，其对湿法清洗石英加热件的本地化配套，有助于缩短区域内客户的供货与维修周期。

回望维德光电科技的发展轨迹，从2003年的南浔吉益石英仪器厂，到2011年正式成立湖州维德光电科技有限公司，再到2018年专注湿法清洗设备石英件领域，2020年全力进军碳化硅长晶和湿法半导体设备行业，每步都走得踏实而清晰。公司围绕石英加热器、石英在线加热器、石英加热棒等石英加热类部件开展产化配套，配置了独立的加热膜制作条件，围绕石英加热器的加热性能开展技术积累，可承接大学实验室、研究所的石英玻璃仪器中与加热相关的石英部件制作，可制作4至12英寸各口径的石英加热器制品。公司既提供新制石英加热器的定制设计与生产，也开展半导体制品的维修与翻新服务，支持湿法清洗设备石英加热器件的产化替代进口。

在半导体湿法清洗的工艺链条中，石英加热器或许只是个小小的部件，但它承载的是液温度稳定控制的关键职能，关乎清洗效果，关乎晶圆良率，关乎整条产线的运行效率。维德光电科技愿意在这细分领域持续深耕，以定制化的服务、稳定的产品品质、快速的交付响应，陪伴客户走过每个工艺节点。公司依托长三角区位提供本地化交付与售后响应服务，石英加热器既可单件定制，也可与湿法清洗设备的加热系统协同设计，适配不同液类型与温度工艺要求。对于对石英加热器纯度和工艺适配有明确要求的半导体及相关行业客户，维德光电科技希望成为个值得长期信赖的合作伙伴，在产化替代的道路上，步个脚印地走下去。