专业溅射镀膜设备解决方案——成都鑫南光20余年技术深耕快讯

企业概况：半导体与光学镀膜领域专家

成都鑫南光机械设备有限公司自2002年成立以来，始终专注于真空镀膜设备研发制造，其磁控溅射镀膜机在国内半导体、光学器件制造领域享有盛誉。公司扎根成都蛟龙工业港，拥有从基础镀膜到精密光刻的完整设备生产线。

产品核心优势：精密镀膜技术突破

高精度成膜控制

磁控溅射镀膜机采用多靶位设计，膜厚均匀性可达±1%，满足半导体器件、光学镜片等对薄膜性能的严苛要求。

智能化工艺系统

配备全自动气压调节与温度监控模块，支持氩气、氮气等多气体环境，实现从金属镀层到化合物薄膜的稳定制备。

模块化维护结构

真空室采用快拆设计，靶材更换效率提升40%，配备自主研发的分子泵组，维护周期较行业标准延长30%。

节能环保配置

相比传统镀膜设备节能15%，废气处理系统符合国家环保标准，特别适用于需连续生产的电子元器件制造场景。

典型应用场景

半导体制造领域

用于晶圆级金属布线、MEMS传感器电极制备，与公司紫外光刻机形成完整微纳加工解决方案。

光学器件镀膜

适用于AR/VR光学镜片、激光器反射镜等多层介质膜沉积，膜系设计支持客户定制化需求。

科研机构合作

为高校及研究所提供小批量试制设备，兼容4-8英寸基片，满足新材料研发需求。

技术服务体系

定制化开发

可根据客户工艺需求调整靶材数量、基片加热温度范围（RT-500℃可调）及真空度控制精度。

全周期支持

提供厂房布局规划→设备安装调试→工艺参数优化→操作人员培训的一站式服务，24小时远程诊断系统保障生产连续性。

行业前瞻布局

随着第三代半导体材料需求增长，公司正研发面向氮化镓功率器件的专用溅射设备，预计2026年内完成新一代产品迭代。持续投入真空镀膜绿色制造技术，助力客户实现精密制造与可持续发展的双重目标。

（注：文中所有技术参数及服务内容均基于成都鑫南光机械设备有限公司公开经营信息，未做任何夸大表述）

联系人：刘经理 电话：13908187709