等离子清洗机芯片处理封装,晶圆光刻胶去除快讯
2022-07-22 13:45:58
作者:烟台金鹰科技有限公司
半导体封装领域的等离子表面处理设备解决方案。等离子清洗机表面处理过的样品包括:硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、铜引线框架等离子体清洗机去除晶圆表面光刻胶
等离子体清洗机在处理晶圆表面光刻胶时,等离子表面清洗能够彻底去除表面光刻胶和其余有机物,也可以通过等离子活化和粗化作用,对晶圆表面进行处理,能有效提高其表面浸润性。相比于传统的湿式化学方法,等离子体清洗机干式处理的可控性更强,一致性更好,并且对基体没有伤害。

等离子体清洗机在倒装芯片封装中的作用
伴随着倒装芯片封装技术出现,干式处理的等离子清洗机就与倒装芯片封装相辅相成,成为提高其产量的重要帮助。通过对芯片以及封装载板采取等离子体清洗机处理,不仅可以获得超洁净的焊接表面,还可以很大程度上提升焊接表面的活性,有效防止虚焊以及减少空洞,提高填充料的边缘高度和包容性,改善封装的机械强度,减低因不同材料的热膨胀系数而在界面间形成内应的剪切力,增强产品可靠性以及提升使用寿命。
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