等离子清洗机灰化设备去除光刻胶快讯

等离子处理机plasmacleaner又称等离子清洗机，等离子表面改性设备,电浆清洁机,等离子表面处理机,等离子体表面处理设备,等离子蚀刻机,等离子清洗器,等离子清洗仪，等离子体材料表面改性处理设备，等离子体表面改性产品，等离子去胶机(灰化机)针对晶圆处理设计，适用于晶圆级和3D封装应用的理想设备。等离子清洗机的应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、有机污染去除等。

等离子清洗机对硅晶圆表面光刻胶残留的灰化，零部件清理，界面活化，基板表面的处理，基板表面活性处理去除光刻胶，晶圆打胶，湿法刻蚀前的晶圆清洁，去除 SU-8，清洁和表面活化，化学微量分析中的低温材料灰化，过滤器和滤膜的清洁，环氧树脂去除。

采用等离子清洗机对材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以大化，同时在材料表面形成一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。应用等离子清洗机对材料表面处理，其操作简单，处理前后没有有害物质产生，处理效果好，效率高，运行成本低。

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

等离子清洗机不分处理对象，可处理不同的基材。无论是金属、半 导体、氧化物还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯 乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚脂、环氧树 脂等高聚物）都可用等离子体很好地处理。因此，特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。