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北京七星华创流量计流量显示仪流量计真空镀膜流量计真空流量计 D07-7流量计七星流量计流量显示七星华创

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品牌 :	北京七星华创	型号 :	D07-7
加工定制 :	是	类型 :	质量流量计
测量范围 :	0-5000sccm

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表1. D07-7B 型MFC性能指标

编号	项目	D07-7B 型
1	流量规格	( 05,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 01,2,3,5,10) SLM
2	准确度	±1.5 F.S
3	线性	±1 F.S
4	重复精度	±0.2 F.S
5	响应时间	电特性: 10 sec 气特性: 4 sec
6	工作压差范围	(0.1 0.5) MPa
7	耐压	3 MPa
8	工作环境温度	5 45
9	输入输出信号	0 V +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10	电源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
11	外形尺寸	见图4
12	重量	1.1 kg

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);

　　　　　　　　　　　　SLM (标准升/分)

标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0);

气压 101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (FullScale): 满量程值

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